Производство
Толстопленочная технология
В этой технологии применяются как проводящие пасты, используемые для формирования толстых проводящих слоев, так и пасты из диэлектрических и полупроводниковых материалов для формирования резисторов и конденсаторов. Нанесение пасты осуществляется методом трафаретной печати.
- Используемая керамика: Al2O3 (ВК-94, ВК-96 и др.), AlN, BeO и др.
- Используемые пасты: резистивные, проводящие, диэлектрические, полимерные (защитные)
- Толщина слоя пасты, мкм: от 8 до 100
- Разрешающая способность (проводник/зазор), мкм от 44 до 200